米乐M6官方天岳前辈获得碳化硅衬底明净专利进步碳化硅衬底外貌相同性

 常见问题     |      2024-04-12 04:35:36    |      小编

  2024年3月28日音信,据邦度学问产权局布告,山东天岳先辈科技股份有限公司赢得一项名为“一种外面干净度高的碳化硅衬底及其干净措施“,授权布告号CN113488528B,申请日期为2021年7月。

  专利摘要显示,本申请公然了一种外面干净度高的碳化硅衬底及其干净措施,属于半导体质料执掌手艺范围,运用该干净措施对碳化硅衬底实行干净,也许抬高碳化硅衬底C面和Si面的外面相同性。干净后的碳化硅衬底的C面和Si面上,粒径>1μm的颗粒个数<10个,粒径正在0.5μm1μm的颗粒个数<20个米乐M6官方,粒径正在0.1μm0.5μm的颗粒个数<30个,粒径正在0.02μm0.1μm的颗粒个数<70个。

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  限售解禁:解禁1.293亿股(估计值),占总股本比例30.09%,股份类型:首发原股东限售股份。(本次数据按照布告推理而来,本质境况以上市公司布告为准)

  限售解禁:解禁3603万股(估计值),占总股本比例8.39%,股份类型:首发原股东限售股份。(本次数据按照布告推理而来,本质境况以上市公司布告为准)

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